氮化物半导体准范德华外延及应用 - 宽禁带半导体前沿丛书 - 中国高校教材图书网
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书名： |
氮化物半导体准范德华外延及应用
宽禁带半导体前沿丛书
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| ISBN： | 9787560662886 |
责任编辑： | |
| 作者： |
魏同波 刘志强 李晋闽
相关图书
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装订： | 平装 |
| 印次： | 1-1 |
开本： | 大32开 |
| 定价： |
￥128.00
折扣价：￥121.60
折扣：0.95
节省了6.4元
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字数： |
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| 出版社： |
西安电子科技大学出版社 |
页数： |
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| 出版日期： |
2023-02-01 |
每包册数： |
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| 国家规划教材： |
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省部级规划教材： |
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| 入选重点出版项目： |
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获奖信息： |
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| 内容简介： |
本书以第三代半导体与二维材料相结合的产业化应用为目标，详细介绍了二维材料上准范德华外延氮化物的理论计算、材料生长、器件制备和应用，内容集学术性与实用性于一体。全书共8章，内容包括二维材料及准范德华外延原理及应用、二维材料/氮化物准范德华外延界面理论计算、二维材料/氮化物准范德华外延成键成核、单晶衬底上氮化物薄膜准范德华外延、非晶衬底上氮化物准范德华外延、准范德华外延氮化物的柔性剥离及转移、准范德华外延氮化物器件散热以及Ⅲ族二维氮化物。
全书内容新颖，循序渐进，理论性和应用性强，可供从事第三代半导体材料以及半导体照明领域相关的研究生、科研人员与企业研发人员等阅读参考。
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| 作者简介： |
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| 章节目录： |
第1章 二维材料及准范德华外延原理及应用 1
1.1 二维材料及其合成方法 2
1.1.1 典型二维材料的组成及结构 4
1.1.2 二维材料的特性及合成方法 6
1.2 Ⅲ族氮化物异质外延生长及应用 12
1.2.1 Ⅲ族氮化物异质外延生长 13
1.2.2 Ⅲ族氮化物的应用前景 16
1.3 二维材料上准范德华外延氮化物原理及应用 17
1.3.1 二维材料上氮化物准范德华外延生长 17
1.3.2 二维材料上准范德华外延技术应用 20
小结 24
参考文献 24
第2章 二维材料/氮化物准范德华外延界面理论计算 29
2.1 二维材料上氮化物金属原子的吸附与迁移 30
2.1.1 石墨烯上原子的吸附与迁移 31
2.1.2 石墨烯上氮化物半导体金属原子的吸附与迁移 40
2.2 二维材料上化合物界面原子构型 43
2.2.1 二维材料上氮化物界面原子构型 43
2.2.2 二维材料上其他ⅢⅤ化合物界面原子构型 47
小结 53
参考文献 54
第3章 二维材料/氮化物准范德华外延成键成核 59
3.1 氮化物准范德华外延的成核机制 60
3.2 二维材料表面形态对准范德华外延成核的影响 65
3.3 二维材料层数对准范德华外延成核的影响 70
3.4 氮化物准范德华外延成核界面处理方法 74
3.4.1 O2等离子体处理 74
3.4.2 N2等离子体处理 77
3.4.3 NH3的原位处理 80
小结 81
参考文献 82
第4章 单晶衬底上氮化物薄膜准范德华外延 85
4.1 二维材料/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延 86
4.1.1 石墨烯/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延 86
4.1.2 hBN/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延 93
4.1.3 二硫化物/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延 96
4.2 二维材料/图形衬底上氮化物薄膜准范德华外延 99
4.3 二维材料/SiC衬底上氮化物薄膜准范德华外延 105
4.3.1 二维材料/SiC衬底上GaN薄膜准范德华外延 107
4.3.2 二维材料/SiC衬底上AlN薄膜准范德华外延 109
小结 114
参考文献 114
第5章 非晶衬底上氮化物准范德华外延 119
5.1 SiO2/Si衬底上氮化物准范德华外延 120
5.2 非晶玻璃衬底上氮化物准范德华外延 129
小结 139
参考文献 140
第6章 准范德华外延氮化物的柔性剥离及转移 143
6.1 氮化物柔性剥离和转移的技术路线 144
6.1.1 激光辐射热释放剥离转移薄膜 145
6.1.2 化学蚀刻法剥离转移薄膜 147
6.1.3 准范德华外延氮化物的柔性剥离与转移 150
6.2 柔性器件的优势与应用 158
6.2.1 柔性探测器 159
6.2.2 柔性LED器件 160
6.2.3 柔性HEMT 165
小结 168
参考文献 169
第7章 准范德华外延氮化物器件散热 173
7.1 辅助氮化物导热的二维材料 175
7.1.1 氧化石墨烯 177
7.1.2 垂直石墨烯 180
7.1.3 多层hBN 183
7.2 二维材料/氮化物器件散热 186
小结 195
参考文献 196
第8章 Ⅲ族二维氮化物 201
8.1 二维GaN、AlN的理论研究 203
8.2 二维GaN、AlN的制备 209
8.2.1 二维GaN材料的制备 209
8.2.2 二维AlN材料的制备 217
8.3 二维GaN、AlN的应用 220
8.3.1 制备紫外光源 220
8.3.2 电池的电极材料 223
8.3.3 气体传感器 224
小结 225
参考文献 226
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