原子层沉积技术——从制造原理到装备应用 - 中国高校教材图书网
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书名： |
原子层沉积技术——从制造原理到装备应用
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| ISBN： | 978-7-5772-1800-7 |
责任编辑： | 李梦阳 |
| 作者： |
陈蓉、单斌、曹坤、刘潇
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装订： | 平装 |
| 印次： | 1-1 |
开本： | 32开 |
| 定价： |
￥168.00
折扣价：￥159.60
折扣：0.95
节省了8.4元
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字数： |
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| 出版社： |
华中科技大学出版社 |
页数： |
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| 出版日期： |
2025-05-01 |
每包册数： |
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| 国家规划教材： |
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省部级规划教材： |
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| 入选重点出版项目： |
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获奖信息： |
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| 内容简介： |
本书以原子层沉积技术为核心，聚焦于工艺优化、纳米结构可控制造方法创新、智能制造装备研发及多领域应用拓展。全书共9章。
本书创新性构建了 “研究前沿 — 理论— 工艺 — 装备 — 应用” 的 ALD 五维创新体系，既具备鲜明的前沿引领性，又突显装备自主化的核心优势与应用场景的广泛拓展性，能为半导体、泛半导体、能源催化等领域中从事材料研发、工艺优化与装备设计的研究人员及工程技术人员提供全面技术指引。
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| 作者简介： |
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陈蓉，华中科技大学教授、国家重大人才工程特聘教授、国家级科技创新领军人才，荣获科学探索奖。从事原子级制造研究，构建了以原子层沉积为核心的理论－工艺－装备－应用体系，主持起草并发布首个原子层沉积国际标准，主持国家重点研发计划颠覆性技术创新重点专项、国家自然科学基金重点项目、973计划青年科学家专题项目等。
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| 章节目录： |
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| 精彩片段： |
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| 书 评： |
《中共中央关于制定国民经济和社会发展第十五个五年规划的建议》提出，要完善新型举国体制，采取超常规措施，全链条推动集成电路、工业母机等重点领域关键核心技术攻关取得决定性突破。
作者陈蓉依托国家级重大科研项目原创成果，以全球化视野撰写了本书。书中系统阐释了原子层沉积技术在工艺优化、装备研发及产业化推广中的核心内容，填补了该技术在工艺、装备与应用协同创新的著作空白，可为行业人员提供参考，并助力我国集成电路产业创新发展。丁汉院士、刘胜院士评价本书 “具有重要学术价值与产业价值”。
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| 其 它： |
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