原子层沉积技术——从制造原理到装备应用 - 中国高校教材图书网
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书名： |
原子层沉积技术——从制造原理到装备应用
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| ISBN： | 978-7-5772-1800-7 |
责任编辑： | |
| 作者： |
陈蓉
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装订： | 平装 |
| 印次： | 1-1 |
开本： | 大32开 |
| 定价： |
￥198.00
折扣价：￥188.10
折扣：0.95
节省了9.9元
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字数： |
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| 出版社： |
华中科技大学出版社 |
页数： |
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| 出版日期： |
2026-01-01 |
每包册数： |
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| 国家规划教材： |
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省部级规划教材： |
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| 入选重点出版项目： |
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获奖信息： |
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| 内容简介： |
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本书入选国家科学技术学术著作出版基金、湖北省屈原文化奖出版奖。围绕原子层沉积技术，阐述其工艺、纳米结构可控制造方法、智能制造装备研发和应用等内容，全书共 9 章。创新性构建 “研究前沿 — 理论基础 — 工艺开发 — 装备研制 — 应用落地” 的 ALD 五维创新体系，呈现我国该领域最新科研成果与产业化实践经验，适用于半导体、泛半导体、能源催化等领域的研究人员、工程技术人员及高校相关专业师生。
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| 作者简介： |
陈蓉：华中科技大学教授、博士生导师，国家重大人才工程特聘教授、国家级科技创新领军人才，机械科学与工程学院副院长。从事原子级制造研究，形成以原子层沉积为核心的理论 - 工艺 - 装备 - 应用体系，主持多项国家级重大科研项目，发表 SCI 论文 200 余篇，获授权发明专利 100 余件，获湖北省技术发明一等奖等多项荣誉，主持编撰多项国际标准。
单斌、曹坤、刘潇：均为该领域科研骨干，参与多项相关科研项目，在原子层沉积技术的工艺开发、装备研制与应用拓展等方面有丰富经验。
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| 章节目录： |
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| 精彩片段： |
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| 书 评： |
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| 其 它： |
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