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微机电系统工程基础（普通高等教育“十一五”国家级规划教材） - 中国高校教材图书网
书名： 微机电系统工程基础（普通高等教育“十一五”国家级规划教材）
ISBN：978-7-312-02468-9 责任编辑：
作者： 王琪民 等编著  相关图书 装订：平装
印次：1-1 开本：异形16开
定价： ￥38.00　 折扣价：￥34.20
折扣：0.90 节省了3.8元 		千字数： 450
出版社： 中国科学技术大学出版社 装订：平装
出版日期： 2010-01-01 页数：
每包册数： 立体化教材：
专业分类：机械设计制造及其自动化 中图法分类： 一般工业技术
用途分类：大学本科教材 读者分类：教师、学生
国家规划教材： 省部级规划教材：
入选重点出版项目： 获奖信息：
印刷日期：2010-01
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内容简介：
本书主要介绍正在快速发展的微电机系统工程基础知识，涵盖了当今高科技前沿领域的半导体超精密制作工艺、微传感器和精细微系统的机理、设计、建模、应用等。

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