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薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用 - 中国高校教材图书网

	书名：	薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用
	ISBN：	9787313065162	责任编辑：
	作者：	张亚非陈达相关图书	装订：	平装
	印次：	1-1	开本：	特16开
	定价：	￥48.00　折扣价：￥45.60 折扣：0.95 节省了2.4元	字数：	250千字
	出版社：	上海交通大学出版社	页数：	184页
	出版日期：	2011-01-01	每包册数：
	国家规划教材：		省部级规划教材：
	入选重点出版项目：		获奖信息：
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内容简介：
本书详细介绍了FBAR谐振器模型所需的基本理论、设计原则、制备技术和应用方法等，包括薄膜体声波谐振器的理论模型、压电薄膜的制备方法、AlN薄膜的溅射沉积和刻蚀、横膈膜型薄膜体声波谐振器、固体装本书包括配型体声波谐振器、薄膜体声波谐振器的应用、高选择性压电晶体传感器的表面纳米组装敏感化等内容。
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