微纳检测技术 - 中国高校教材图书网
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书名： |
微纳检测技术
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| ISBN： | 978-7-5618-2863-2 |
条码： | |
| 作者： |
胡小唐
相关图书
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装订： | 平装 |
| 印次： | 1-1 |
开本： | 16开 |
| 定价： |
￥26.00
折扣价：￥24.70
折扣：0.95
节省了1.3元
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字数： |
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| 出版社： |
天津大学出版社 |
页数： |
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| 发行编号： | |
每包册数： |
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| 出版日期： |
2010-01-01 |
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| 内容简介： |
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《微纳检测技术》系统地介绍了微纳检测领域常用的技术、方法及系统（仪器）。可作为信息领域研究生、本科生及大中专学生的教材使用，也可作为微纳米研究领域科技工作者的参考书籍使用。《微纳检测技术》共分8章，分别为微纳检测技术基础、光学干涉测试技术、微纳形貌检测技术、扫描探针显微镜、扫描电子显微镜、微纳坐标测量技术、微视觉测试技术和全息干涉技术。
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| 作者简介： |
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| 章节目录： |
第1章 微纳检测技术基础
1.1 微纳米量级检测技术特点
1.2 常用检测技术
1.3 微纳尺度的溯源与基准传递
第2章 光学干涉测试技术
2.1 位移干涉检测技术
2.2 相移干涉检测技术
2.3 X射线干涉技术
2.4 白光干涉检测技术
第3章 微纳形貌检测技术
3.1 接触式轮廓仪
3.2 非接触式轮廓仪——光学式轮廓仪
第4章 扫描探针显微镜
4.1 扫描隧道显微镜
4.2 原子力显微镜
4.3 扫描近场光学显微镜
第5章 扫描电子显微镜
5.1 扫描电子显微镜
5.2 透射电子显微镜
5.3 环境扫描电子显微镜
第6章 微纳坐标测量技术
6.1 微纳坐标测量技术基础
6.2 微纳坐标测量仪器
6.3 微纳坐标测量仪器的研究进展
6.4 微纳坐标测量仪器传感测头的研究进展
第7章 微视觉测试技术
7.1 微视觉测试技术基础
7.2 微结构平面尺寸的视觉测试
7.3 微结构平面运动参数的视觉测试
第8章 全息干涉技术
8.1 全息干涉技术的发展历史
8.2 全息图的分类
8.3 传统全息技术的基本原理
8.4 数字全息技术
8.5 商业化仪器介绍
参考文献
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| 精彩片段： |
18世纪蒸汽机的发明带来了第一次产业革命——实现了机械化，可以称为蒸汽机时代；19世纪电力的使用带来了第二次产业革命——实现了电气化，可以称为电力时代；20世纪微电子和计算机的发明带来了第三次产业革命——实现了信息化、网络化，可以称为微电子和计算机时代；21世纪纳米科技的兴起能否带来第四次产业革命？21世纪能否称为纳米科技时代？
从Ri。hardFeynman对纳米技术的预言至今，纳米技术有了惊人的进步。微纳技术使材料、设备和系统的加工及制造产生了巨大的变化。在微纳米领域表现最为突出的是微机电系统（Micro-ELcctro.MechaniealSystems，MEMS）和纳机电系统（Nano-Electro-MechanicalSystems，NENS）。由于它们优良的物理、化学和生物学特性，在信息技术、能源、航天和国家安全等领域得到了广泛应用。由于微机电系统的原理与传统机电系统的原理相同，因此可以应用经典理论进行研究；而纳机电系统的尺度达到纳米量级，经典理论已不适用。
微米科技是在0.1~5000um内，研究不同类型物质的运动和变化的学问。纳米科技是在0.1~100nm内，研究原子、分子和其他类型物质的运动和变化的学问。
创造和制备优异性能的纳米材料，设计、制备各种纳米器件和装置，探测和分析纳米区域的性质和现象是纳米技术三个主要的研究方向。微纳米技术的发展，特别是微纳米尺度的加工和制造给测试技术提出了更高的要求。而测试技术的提高反过来又推动了微纳米科技的进步。
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| 书 评： |
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| 其 它： |
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